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風(fēng)淋室專題 佰倫風(fēng)淋室已榮獲多項國家專利! |
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其他微電子行業(yè)凈化解決方案
少量未處理的微粒或者氣體分子可能嚴(yán)重影響一些工藝流程。請想象一下污染的空氣對半導(dǎo)體、制藥和其它高度敏感的制造工藝流程可能產(chǎn)生什么樣的危害。
先進(jìn)的生產(chǎn)方法通常要求非常潔凈的空氣環(huán)境，很多情況下，空氣要求還可能更加嚴(yán)格。例如，電子行業(yè)要求非常干凈的制造環(huán)境，以便生產(chǎn)大規(guī)模集成電路。由于電路板寬度可能只有1微米或者更少，這就要求將三維微粒污染控制在0.1微米以內(nèi)。
潔凈室的重點(diǎn)就是過濾設(shè)備，但根據(jù)不同的潔凈室類型，需要考慮使用不同的空氣過濾設(shè)備。
憑借15年以上的微電子和半導(dǎo)體污染控制技術(shù)行業(yè)經(jīng)驗以及對“國際半導(dǎo)體科技進(jìn)程”的參與，我公司完全能夠提供好的解決方案，實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的微粒和AMC控制。
我公司在已通過ISO9000認(rèn)證并嚴(yán)格控制生產(chǎn)環(huán)境的工廠內(nèi)專門生產(chǎn)HEPA/ULPA過濾器。我們在全球多個生產(chǎn)基地同時生產(chǎn)同一類型的空氣過濾器和風(fēng)淋室。大規(guī)模的生產(chǎn)能力確保我們的產(chǎn)品能夠隨時滿足世界各地的需求。
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污染物 |
來源 |
引發(fā)問題 |
解決方案 |
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粉塵、 微細(xì)鹽粒子 |
空氣 |
造成微電子脫落或者影響精度 |
潔凈室HVAC系統(tǒng)的新風(fēng)機(jī)組加化學(xué)過濾功能段，在FFU加化學(xué)濾網(wǎng) |
部分成交客戶：
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